厂牌:TDK,型号:TAS300 TYPE,TAS300 TYPE:J1,资料类型:其他,语言:英文资料,文档大小:280KB,中文标题(翻译):FOUP装货港TAS300型号:J1
TDK 新型load port(TAS300 TYPE-E4)是通过晶圆盒从处理装置中取放硅晶圆的新型晶圆盒装载端口,从处理装置中取放晶圆时,可将附着的微粒子减少至0.0001个/晶圆(按300mm晶圆换算),为业界*少。此装置能够减少3种微粒子对晶圆的附着,如下: 从装置外部混入内部的微粒子。主要是通过改进了连接处理装置与端口的进出口附...