2. ftan镜头：ftan镜头是另一种光刻机中常用的透镜类型。它主要用于在投影光刻机中将图案投射到光刻胶上。ftan镜头的作用是将光线从刻蚀光刻胶表面发出。与ftheta镜头不同，ftan镜头的光线在成像过程中发生折射。折射可以根据光线投射的角度和位置来产生不同的像素尺寸，这样就可以在图案的不同部分获...