• EFL:是基于近轴光线追迹得出的有效焦距,是系统的一个基本光学参数,通常在理想光学模型和近轴条件下计算得到,不考虑实际光线的像差、色差等因素影响。 • 角度除以像高:这种方法计算焦距是基于实际光线追迹和成像的几何关系,即f=\frac{y}{\tan\theta},其中y是像高,\theta是光线入射角,它考虑了实际光线的...
畸变分析器计算由透镜或物镜在定义的角度范围内引入的光束的畸变。它的工作独立于实际的光学系统及其参数,因此,具体的参数需要在分析器内定义。 要分析的组件:定义应分析的组件。一个下拉菜单将显示所有可用的选项。如果有多个具有相同名称的组件,组件下面的索引将有助于区分它们。 有效焦距 计算有效焦距的失真:如果该...
ftheta镜头与ftan镜头是光刻机中使用的两种不同类型的透镜。它们的主要区别在于它们在成像过程中对光线的处理方式不同。1. ftheta镜头： ftheta镜头是一种特殊的透镜，通常用于光刻机中的扫描器部分。它主要用于将激光束平行地聚焦到工作区域上。它能够保持激光束在不同位置和角度下聚焦后的焦点尺寸相...