实验所用光刻胶试片为铜基底加SU-8胶组成,表1列出了铜和SU-8胶的性能参数,随着温度的变化,其泊松比、密度以及热膨胀系数等变化不大,为固定值,当温度变化时,由于SU-8胶与铜基底的热膨胀系数相差很大,且SU-8胶热膨胀系数远大于铜基底,因此,SU-8胶体将会凹曲变形,产生较大的内应力。因此只要获得胶体试样的变...
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2、本表所列的电加热器表面功率密度选用8-11W/cm 2 。 序号 电加热器型号 被加热螺栓直径 保护套管长度 发热长度 冷端长度 功率(W) 1 DJ22-1 M56×4 255 100 125 550 2 DJ22-2 280 126 700 3 DJ22-3 305 150 850 4 DJ22-4 330 175 950 5 DJ22-5 355 200 1100 ...