其新平台可容纳多达8个内置腔室,新开发的高速晶圆传输系统使SU-3100每小时可处理多达300个晶圆。SCREEN还为不同用途开发了2种新型的多处理室,使SU-3100能够满足各种客户的需求,包括对当今更为精细的图案进行的高级处理。SU-3100还具有新的DDI(动态直接喷射)混合系统,该系统可实现高精度的流量控制,使SU-3100适用于...
🔧型号:SU-3100 🏭制造商:斯库林(SCREEN) 📅生产日期:2007年5月 📏机器尺寸:2,120 × 1,200 × 2,700💡概述:SU-3100是斯库林(SCREEN)推出的新一代单晶片清洗机,以其高效清洁性能和生产率著称。与前代产品SU-3000相比,SU-3100在晶圆传输速度和清洁性能上均有显著提升。每小时可处理多达300个晶圆,使...
品牌 SCREEN 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在爱采购上完成线上购买,则最终以订单结算页价格为准。 抢购价:商品参与营销活动的活动价格,也可能...
Screen SU-3100 晶片清洗系统 设备简介 产品特点 根据目的、用途备有两种反应室 伴随仪器的细微化及工序的复杂化,对应每道清洗工序都必须将工艺条件做zui适宜的处理。另外,处理药液的温度及浓度、液体供给的时点等微妙的差异将影响晶圆表面清洁度与异物去除性能的情形越来越多见。为支持这种严格的工艺,开发了可针对...