SU8胶紫外光刻的原理主要是通过紫外线照射引发SU8胶的聚合反应，生成高分子聚合物，从而形成预设的微纳结构。在光刻过程中，紫外线通过掩膜版将图案转移到SU8胶上，引发聚合反应的紫外线波长通常在365nm左右。2、SU8胶聚合反应方程 SU8胶的聚合反应方程可以用以下公式表示：式中，n表示聚合反应程度，t表示光照时间...
可通过添加抗反射涂层到衬底上减少不必要的反射,以实现更准确的特征尺寸控制,同样地,SU-8也可以通过结合紫外线光刻技术和立体光刻技术,实现SU-8三维结构的制造。 2、去除:可采用热NMP、硫酸/过氧化氢或专门的去除剂(如NANOTM Remover PG)等去除。 3、释放:通过薄牺牲层(如铝...
基于SU-8聚合物波导的多模干涉型RGB合波器
SU-8光刻胶去胶工艺研究 SU-8光刻胶因具有良好的机械耐久性,聚合物水密性,介电性能,生物兼容性和抗化学腐蚀性而被广泛用于MEMS器件,生物医学和芯片封装等领域.现有制作工艺中,在不损伤器件的... 张笛,王英,瞿敏妮,... 被引量: 0发表: 2020年 基于SU8厚胶制备折叠波导工艺研究 随着太赫兹技术(THz)的发展...
Hence, as a crucial step for designing polymer components devoted tosensors applications, the SU-8 polymer appears as a promising candidate for integrated optics with low optical losses.? 2003 Elsevier B.V. All rights reserved.PACS: 78.66 Qn; 42.70 Jk; 42.82 EtKeywords: Polymer; SU-8; ...
2014年科研热词推荐指数序号su-8光刻胶31微透镜阵列22su-823阵列波导光栅14表面镀金微柱15表面等离子体共振16聚合物波导传感器17聚合物波导18聚二甲基硅氧烷(pdms)19细胞排队110电旋转111电光开关112球面113法布里-珀罗干涉114水浴光刻115水力聚焦116无源-有源集成波导117插入损耗118折射率119成像检测120悬臂梁-质量块结构...
用于PDMS微芯片塑性成型的SU8模具制作工艺的优化
通用级聚苯乙烯,可用于日用品、电气、仪表外壳、玩具、灯具、家用电器、文具、化妆品容器、室内外装饰品、果盘、光学零件(如三棱镜、透镜)透镜窗镜和模塑、车灯、电讯配件,电频电容器薄膜,高频绝缘材料、电视机等集装箱、波导管,化工容器等。悬浮聚合树脂可制成不同密度的泡沫塑料,用作绝热、隔音、防震、漂浮、包装...
SU-8是一种负性、抗近紫外线和热固性的聚合物。其高固体含量(重量比72%-85%)使得通过单次旋涂结构厚度即可达几百微米,经多次旋涂甚至可达几毫米。在365nm的近紫外光谱中,吸光度约为46%,可用于制备侧壁基本无倾斜的结构。此外,由于其树脂芳香族的性质及高度交联,SU-8具有出色的热和化学稳定性、高机械强度,可...
通用级聚苯乙烯,可用于日用品、电气、仪表外壳、玩具、灯具、家用电器、文具、化妆品容器、室内外装饰品、果盘、光学零件(如三棱镜、透镜)透镜窗镜和模塑、车灯、电讯配件,电频电容器薄膜,高频绝缘材料、电视机等集装箱、波导管,化工容器等。悬浮聚合树脂可制成不同密度的泡沫塑料,用作绝热、隔音、防震、漂浮、包装...