STP-iXA4507系列 为满足半导体先进制程发展对大排气量分子泵的需求,全球领先的真空设备及尾气处理解决方案提供商——Edwards Vacuum推出了具有优化气体流量和温度管理功能的STP-iXA4507系列磁悬浮分子泵,能够有效应对各种严峻工艺挑战。 该系列分子泵具有超卓的抽速和排气量,特别适用于半导体刻蚀、FPD刻蚀、PVD等大流量工艺。