成功维修了多台用于半导体设备泵上的Edwards爱德华STP-A1303CV分子泵,日本精工精机STP-A1303CV磁悬浮分子泵进气法兰口ISO200F/ICF2253/VG200,出气法兰口KF40,抽速可达到1300 L/s,转速为16000rpm-32500rpm,Seiko Seiki精工精机STP-A1303CV磁悬浮分子泵保养对应的控制器为:Seiko Seiki SCU-1600,金华杰精修Edwads爱...