由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内,适当地放置探头, EELS 的接受效率会很高, 相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS 的能量分辨率( 1eV)远高于 EDS( 130eV),因此, ...
由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内,适当地放置探头, EELS 的接受效率会很高, 相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS 的能量分辨率( 1eV)远高于 EDS( 130eV),因此, ...
相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS 的能量分辨率( 1eV)远高于 EDS( 130eV),因此, EELS 在探测轻元素方面更有优势;而且,除了对样品进行定性和定量的成分分析外, EELS 的精细结构...
图6. EELS 软件自动分析结果 3Z衬度像/HAADF-STEM像Z 衬度像/HAADF-STEM 像( Z-contrast Imaging/ High angle annular dark field image,HAADF)20 世纪 90 年代以来,随着电镜硬件的不断发展,尤其是具有场发射电子枪的超高真空电镜的出现和普及,一种高分辨扫描透射成像技术,即高分辨或原子分辨率的原子序数( Z...