如果对出射电子按其损失的能量进行统计计数,便得到电子的能量损失谱。由于非弹性散射电子大都集中分布在一个顶角很小的圆锥内,适当地放置探头, EELS 的接受效率会很高, 相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS
相比 EDS分析, EELS 的记谱时间更短, 特别是用于小束斑分析薄样品时;另外, EDS 在探测轻元素( Z<11)时只有 1%的信号能接收到,且谱线重叠比较严重,而 EELS 的能量分辨率( 1eV)远高于 EDS( 130eV),因此, EELS 在探测轻元素方面更有优势;而且,除了对样品进行定性和定量的成分分析外, EELS 的精细结构...
能谱仪(EDS, Energγ Dispersive Spectrometer)以X射线为信号源分析微区成分分布。图1也显示,这几种信号源的深度不同,SE最浅,BSE次之,X射线最深。不同信号源的逸出深度可以解释同样条件下SE、BSE和EDS成像的空间分辨率差异。
与 X 射线能谱分析（EDS）联用，可以对样品中原子分布进行表征（图4）。HAADF信号强度与原子序数Z的平方成正比，有些元素原子序数低，可能不好分辨，可以将原子序数较高的元素（如I）标记到高分子链段上，从而方便观察，如图5。图4 扫描透射电镜图（a为样品的BF图；b为样品的HAADF图；c为EDS图；d是b和c图...
1)定性分析:EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步,即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类,最后定量分析的精度就毫无意义。通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分。定性分析又分为自动定性分析和手动定性分析,其中自动定性分析是根据能量位置来确定峰位,直接单击“Peak ID...
EDS是一种利用能量分散谱仪记录样品中元素的化学成分的技术。它可以提供高灵敏度和高分辨率的化学成分分析。 1. X射线激发 EDS使用X射线激发样品中的元素,使其产生特定能量的荧光X射线。这些荧光X射线具有与元素相关的能量,并可以用于确定样品中存在哪些元素。 2. 能量分散谱仪 能量分散谱仪用于记录荧光X射线的能...
（1）对校正后的数据进行图像重构，得到高分辨率STEM图像。（2）根据需要，对重构后的图像进行滤波、增强等处理，提高图像可视性。5. 数据分析 （1）提取图像中的特征信息，如晶格结构、原子排列等。（2）结合其他分析手段，如能谱分析（EDS）、电子能量损失谱（EELS）等，对样品进行综合分析。测试狗材料表征 ...
透射电镜中的EDS STEM和EELS的原理及应用-天津大学
四、功能扩展与应用场景 STEM可集成能谱仪(EDS)和电子能量损失谱仪(EELS),实现纳米尺度化学成分、价态及电子结构的同步分析,广泛应用于催化剂、半导体器件的缺陷研究。 TEM更擅长电子衍射分析和原位实验,例如观察材料在加热或拉伸过程中的相变、位错运动等动态行为,在晶体学、合金强化机制...
首先，我们来探讨X射线能谱（EDS）的原理和应用。EDS是微区成分分析最为常用的一种方法，其物理基础是基于样品的特征X射线。当样品原子内层电子被入射电子激发或电离时，会在内层电子处产生一个空缺，原子处于能量较高的激发状态，此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺，从而释放出具有一定能量的...