3.1 SSM2000是用SRP(SpreadingResistanceProfile)分析技术测量掺杂的硅材料的电特性 参数的专用设备,测量后得到硅材料纵向结构的电阻率、载流子浓度、薄层电阻、电激 活的注入剂量等参数。 3.2 Mount指具有一定的角度的铜底座,在样品制备时将样品固定于其上,然后在抛光机上研磨。Mount根据角度划分,有多种规格。如11°...
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