基于这些趋势,SCREEN SPE开发了SS-3300S,这是一款洗涤塔型单晶圆清洗系统,具有业界领先的生产率。SS-3300S延续了广受赞誉的处理可靠性,这种可靠性已经使SS-3200成为该领域行业事实上的标准,目前已在全球出货超过500套系统。SS-3300S还可以继续使用与为SS-3200开发完全相同的处理条件,从而确保顺利引入新系统。 作为...
基於這些趨勢,SCREEN SPE開發出SS-3300S,這是一款洗滌塔型單晶圓清洗系統,具有業界領先的生產力。SS-3300S延續了廣受讚譽的處理可靠性,這種可靠性已經使SS-3200成為該領域產業事實上的標準,目前已在全球出貨超過500套系統。為SS-3200開發的處理條件,SS-3300S也可以繼續使用完全相同的條件,從而確保順利引進新系統。
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SS-3300S还可以继续使用与为SS-3200开发完全相同的处理条件,从而确保顺利引入新系统。 作为洗涤塔型系统的行业首创3,SS-3300S配有可安装多达16个腔室的新平台。此外,新的双传送系统大幅提高了系统占地面积产量,帮助SS-3300S达到业界最高水平的实际处理能力,最高可达1,000 wph(比传统型号提高了25%)。同样,控制系...
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