一、 SPS合成技术原理 1、等离子体 等离子体是宇宙中物质存在的一种状态,是除固、液、气三态外物质的第四种状态。所谓等离子体就是指电离程度较高、电离电荷相反、数量相等的气体,通常是由电子、离子、原子或自由基等粒子组成的集合体。 处于等离子体状态的各种物质微粒具有较强的化学活性,在一定的条件下可获得较完全的化学反应。 之所以把