作者是先进能源工业有限公司托马斯·C·格鲁夫先生,原英文文献标题为《Arcing Problems Encountered During Sputter Deposition of Aluminum》,译为中文为《Splash成因探讨AL溅射沉积过程中遇到的电弧难题》,考虑到技术人员很少将.. 文档格式: .pdf 文档大小: