SMIF由三部分组成:用来封闭在制造过程中存储和运输盒装半导体晶片的集装箱,即SMIF晶片盒(pod);用来打开SMIF晶片盒(pod)的输入输出装置,即smif装载端口(SMIF i/o,SMIF input/output);以及通过工艺系统实现装载端口整合的洁净室。SMIF的工作方式通常如下:操作人员或自动化材料加工系统(amhs,automated material hand...
Smart Tag则是这一智慧的核心,作为自动化半导体生产线的关键组件,它整合了尖端显示、逻辑和通信技术,不仅用于晶圆厂的智能化管理,还提供了一体化的解决方案,无缝对接FOUP(晶圆装载盒)、SMIF-Pod等重要元件的追踪和管理。在实际应用中,这些智能标签贴在关键部件上,如200mm或300mm的晶圆装载盒,而...
Smart Tag则是这一智慧的核心,作为自动化半导体生产线的关键组件,它整合了尖端显示、逻辑和通信技术,不仅用于晶圆厂的智能化管理,还提供了一体化的解决方案,无缝对接FOUP(晶圆装载盒)、SMIF-Pod等重要元件的追踪和管理。在实际应用中,这些智能标签贴在关键部件上,如200mm或300mm的晶圆装载盒,而...
Smart Tag则是这一智慧的核心,作为自动化半导体生产线的关键组件,它整合了尖端显示、逻辑和通信技术,不仅用于晶圆厂的智能化管理,还提供了一体化的解决方案,无缝对接FOUP(晶圆装载盒)、SMIF-Pod等重要元件的追踪和管理。在实际应用中,这些智能标签贴在关键部件上,如200mm或300mm的晶圆装载盒,而...