SCCM:标准ml/min s:支架:标准条件CC:ml M:min SLM:标准L/min s:支架:标准条件L:L M:min 【本文地址】
从测量原理讲,热式质量流量计是通过利用气体的比热与密度,采用毛细管温差量热法进行测量,流量控制器测量的就是质量流量,但显示出的数值是通用的标况(101325Pa;0℃)体积流量。由于一般气体的密度都指标况下的密度,因此直接用体积乘以密度就可以得到所通过气体的质量。SCCM与SLM为体积流量的行业标准单位,代表标况下的体...