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英文标准名称:Test methods for properties of mask-making equipment for manufacturing of ICs 标准类型:L97 发布日期:1988/3/10 12:00:00 实施日期:1988/10/1 12:00:00 中国标准分类号:L97 国际标准分类号:31-550 适用范围:本指导性技术文件适用于自动刻(绘)图机、图形发生器、精缩照相机三类光学制版设...
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