SiC(0001)(√3×√3)R30°结构的XPS分析
摘要: 对不锈钢基体上离子束混合沉积的C -SiC涂层进行了H+ 辐照模拟试验 ,由SIMS测量H+ 辐照前后氢的浓试分布 ,采用沟电子能谱 (XPS)对H+ 辐照前后涂层元素C和Si进行了内层电子结合能的测量分析 ,研究C及Si的化学键态的变化与H的关系 ,探讨SiC涂层阻氢机理关键词: C-SiC涂层;H+辐照;XPS ...
最近做了SiC颗粒氧化后表面xps测试，老师给了四个数据，一个好像是全谱图数据，一个是C1s，一个是O1s...