SFQR(Surface Flatness Quality Ratio)是硅片表面平坦度质量比,是衡量硅片表面质量的重要指标。在硅片加工流程中,SFQR通常用于评估硅片表面经过研磨、酸腐蚀和抛光等处理后的平坦度。硅片表面平坦度质量比越高,表明硅片表面越平坦,质量越好。 二、SF...