元素分析:特征X射线用于能谱分析(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy, EDS),可以定性和定量分析样品的元素组成。 成分分布:通过映射特征X射线信号,可以得到样品中不同元素的分布图像。通过这些信号探测类型,SEM能够提供丰富的信息,帮助我们更好地了解样品的结构和性质。0 0 发表评论 发表 作者最近动态 肥洋呱呱
通常,靠近晶体管层的金属层(较低层)可能会更薄一些,用于精细的信号传输,而远离晶体管层的金属层(较高层)一般会更厚,用于电源分配或长距离的信号传输。下面这张图是一个十层BEOL的SEM(扫描电子显微镜)表征截面。金属互联填充均为Cu,其中1x 和 2x 层中塞在Cu之间的绝缘材料为SiCOH(氧化碳硅),6x 层中的绝缘...