Semi F21-1102标准的主要内容包括以下几个方面: 1. 设备设计:该标准要求半导体生产设备的设计必须符合一定的工程规范,以确保设备的性能和稳定性达到要求。 2. 材料选择:标准规定了半导体生产中所使用的各种材料的质量和性能要求,以确保产品的稳定和可靠。 3. 测试要求:该标准列出了半导体生产设备和材料的测试方法和要...
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