. 扩展支持SEMI E39、E40、E87、E90、E94、E116、E142 . 支持多开发语言 C、C++、C#、Labview、QT。. 可选PLC与MES的软件桥接模块，无需开发。. 采用DLL模块方式，自由添加到设备软件中。. 提供主机EAP模拟软件，轻松自动化控制设备。. 支持x86、x64 版本 1.2.2 概述 广州金
半导体前道 SEMI为半导体前道定义了一系列标准,称为GEM300标准, 包括SEMI 标准E40、E87、E90、E94、E116、E148、E157,都以E39标准的对象服务为核心概念。 GEM300系列标准是建立在SECS GEM 系列标准之上,每个标准都为SECS/GEM接口提供了额外的功能。 世界各地的300mm工厂都在使用底层的SECS/GEM标准的数据收集功能,...
The SEMI E87 standard was designed to accommodate both Fixed Buffer tools (substrates are removed directly from carriers on external load ports) and Internal Buffer tools (carriers are brought into storage locations inside the tool before substrate access can begin). The standard can also be used ...
SEMI E10 codifies tool performance states: Nonscheduled Time, Standby, Production, Maintenance, Engineering, Scheduled Downtime, and Unscheduled Downtime.
SEMI为半导体前道定义了一系列标准,称为GEM300标准, 包括SEMI 标准E40、E87、E90、E94、E116、E148、E157,都以E39标准的对象服务为核心概念。 GEM300系列标准是建立在SECS GEM 系列标准之上,每个标准都为SECS/GEM接口提供了额外的功能。 世界各地的300mm工厂都在使用底层的SECS/GEM标准的数据收集功能,几乎所有的30...
定义了基于TCP/IP的底层通讯协议格式，包括重连，超时处理等。需要下载的小伙伴可以点这里下载 SECS-II(...