半导体前道 SEMI为半导体前道定义了一系列标准,称为GEM300标准, 包括SEMI 标准E40、E87、E90、E94、E116、E148、E157,都以E39标准的对象服务为核心概念。 GEM300系列标准是建立在SECS GEM 系列标准之上,每个标准都为SECS/GEM接口提供了额外的功能。 世界各地的300mm工厂都在使用底层的SECS/GEM标准的数据收集功能,...
E39 E40 E82 E84 E87 E88 E90 E91 E94 E109 E116 E120 E121 E122 E123 E125 E128 E130 E132 E134 E138 E142 E145 E148 E157 E164 E172 E173 E187 E188 E190 E191 A3 PV2 G84SEMI E87: Carrier Management Automated material management is critical for lights-out host control in a fabrication ...
. 扩展支持SEMI E39、E40、E87、E90、E94、E116、E142 . 支持多开发语言 C、C++、C#、Labview、QT。
SEMI E10 codifies tool performance states: Nonscheduled Time, Standby, Production, Maintenance, Engineering, Scheduled Downtime, and Unscheduled Downtime.
SEMI为半导体前道定义了一系列标准,称为GEM300标准, 包括SEMI 标准E40、E87、E90、E94、E116、E148、E157,都以E39标准的对象服务为核心概念。 GEM300系列标准是建立在SECS GEM 系列标准之上,每个标准都为SECS/GEM接口提供了额外的功能。 世界各地的300mm工厂都在使用底层的SECS/GEM标准的数据收集功能,几乎所有的30...
定义了基于TCP/IP的底层通讯协议格式，包括重连，超时处理等。需要下载的小伙伴可以点这里下载 SECS-II(...