SEMI E30 GEM标准为半导体制造设备提供了一套通用的通信与控制模型,涵盖了从基本通信到高级功能的全方位需求。通过实现GEM标准,设备供应商和工厂能够显著提高制造自动化的效率和灵活性,从而获得更大的经济效益。 更多关于SEMI标准功能和半导体设备软件解决方案,请访问www.kxware.com。 关于SEMI 标准文档详细信息,请访问S...
一般来说,SECS / GEM标准定义了消息,状态机和场景,以使工厂软件能够控制和监控制造设备。 GEM标准正式指定并称为SEMI标准E30,但通常简称为GEM或SECS / GEM标准。为支持半导体设备制造商的制造自动化程序提供功能性和灵活性, GEM是SECS-II标准SEMI标准E5的标准实施。半导体(前端和后端),表面安装技术,电子组件,光伏,...
E30 GEM SPECIFICATION FOR THE GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT 2。 GEM300（300mm）：复杂和应用更高级的场景 E40 （PROCESSING MANAGEMENT）E84 （ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE）E87 （CARRIER MANAGEMENT (CMS)）E90（SUBSTRATE TRACKING）E94（CONTROL JOB...
GEM(SEMI E30)标准是半导体制造业内工厂与设备沟通和控制的基准,但这个标准也能很容易地推广到其他行业。工厂和设备供应商通过使用一个共同的界面,减轻他们集成工作的负担,并提高设备的能力。 SEMI PV2标准是SEMI E30标准的一个部分,它概述了设备所必须支持的最常见GEM功能标准的具体应用细节。类似于SEMI E148标准,...
E30 GEM SPECIFICATION FOR THE GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT 2。 GEM300(300mm):复杂和应用更高级的场景 E40 (PROCESSING MANAGEMENT) E84 (ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE) E87 (CARRIER MANAGEMENT (CMS)) ...
E30 GEM SPECIFICATION FOR THE GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS AND CONTROL OF MANUFACTURING EQUIPMENT 2。 GEM300(300mm):复杂和应用更高级的场景 E40 (PROCESSING MANAGEMENT) E84 (ENHANCED CARRIER HANDOFF PARALLEL I/O INTERFACE) E87 (CARRIER MANAGEMENT (CMS)) ...
GEM(SEMI E30)標準是半導體製造業內工廠與設備溝通和控制的基準,但這個標準也能很容易地推廣到其他行業。工廠和設備供應商通過使用一個共同的界面,減輕他們工作整合上的負擔,並提高設備的能力。 SEMI PV2標準是SEMI E30標準的一個部分,它概述了設備所必須支持的最常見GEM功能標準的具體應用細節。類似於SEMI E148標準...
1.2.1 金南瓜功能 . 支持SEMI E4(SECS I)、E5(SECS II)、E30（GEM）、E37（HSMS）通讯标准。....
1. 设备接口标准:如SEMI E30,这是GEM(通用设备模型)的核心标准,用于定义半导体制造设备的通用接口模型。它为设备与工厂控制系统之间的通信提供了一套通用的设备模型,包括设备接口、功能模型和数据接口的定义。 - 设备接口:定义了设备如何报告其状态、接收命令和传输数据。 - 功能模型:规定了设备的功能、操作状态、事...
通用和控制制造设备(GEM)标准的通用模型由非营利组织半导体设备和材料国际(SEMI)维护和发布。 一般来说,SECS / GEM标准定义了消息,状态机和场景,以使工厂软件能够控制和监控制造设备。 GEM标准正式指定并称为SEMI标准E30,但通常简称为GEM或SECS / GEM标准。为支持半导体设备制造商的制造自动化程序提供功能性 和灵活...