semi标准e77-1014如下: 该标准主要适用于半导体、光伏等行业。 要求检测最小泄漏率为1x10^-9 atm cm^3/s。 需要注意的是,不同的检测方法和设备可能会对检测结果产生影响,因此在进行氦检真空检漏时,应当参考相应的标准,并且结合实际情况选择合适的检测方法和设备,以确保检测结果的准确性和可靠性。
Semi标准E77-1014主要涵盖以下几个方面的内容: 1.设计要求 根据Semi标准E77-1014,半导体器件的设计应符合特定的要求,包括电气性能、物理尺寸、材料选择等方面。设计过程应考虑到器件的生产加工工艺和后续测试需求,以确保产品的可制造性和可测试性。 2.制造要求 Semi标准E77-1014提出了半导体器件的制造要求,包括制造工艺...