能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析(SEM能谱一般只能测C(含C)以后的元素,其他元素也能做但是不准,不建议做)。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的...
SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别? 分类:学术讨论前沿新材料 其他 更多 最佳答案 XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um 0 sean 回答于 2024-06-08 10:31:40 1 个回答 sean2024-06-08 10:31:40通过审核 XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um 0您需要登录后才可以回答问题,登录 或者注册 今天,你...
同样的样品，我用EDS和ICP测试出来的数据有差距，不知道是不是因为EDS的穿透深度不够导致的对薄膜的...
SEM/EDS采用电子源入射样品到表面,激发出二次电子(用于形貌观察)、背散射电子(不同的衬度像反映出不同的原子序数)以及特征X射线(用于成分分析)。 SEM对样品表面5nm~10nm的形貌十分敏感,对表面约10nm到一点几um深度的衬度信息也非常敏感,可进行微区的成分定性分析。 SEM可用于薄膜(极易受电子束损伤)的低压观察、...