化学信息可以通过元素面分布和线扫描等多种方式实现可视化。这样,利用X射线也就可以识别样品中的各种元素。有趣的是,EDX还可用于定性和定量分析,也就是识别样品的元素类型以及每种元素的浓度百分比。与传统扫描电子显微镜一样,EDX 技术几乎不需要样品制备,并且无损,不会损坏样品。EDX分析以其多种优势,已在制造业、研...
开始的时候能谱的缩写有很多,比如EDS,EDX,EDAX等,大家对此也都心照不宣,知道ED就是Energy Dispersive,后面因为X-ray Analysis和Spectrum这几个词的不同用法,导致了缩写的不同。而且相应的汉译也有很多,比如能量色散谱,能量散射谱等等。 不过,到了2004年左右,相关协会规定,EDS就是能谱或者能谱仪,EDX就是能谱学,...
EDS分析(能量色散 X 射线光谱,也称为 EDX 分析)是一项研究微米级化学成分的强大技术。通过结合扫描电镜 (SEM),EDS 从用电子束扫描样品时发射的 X 射线中获得组分信息。EDS分析技术可以检测的元素范围几乎涵盖了整个周期表。从流程/质量控制到故障分析和基础研究,EDS 提供的数据对一系列应用至关重要。因此,几乎每个...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 FIB机台示意图: FIB应用: FIB...
SEM/EDX(形貌观测、成分分析)扫描电镜(SEM)可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的,根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜(SEM)使用,可以对样品进行微区成...
EDX的原理图:EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的, 根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。 SEM下拍的结构形貌图如下: FIB:聚焦离子束,可以定位切截面,然后一刀一刀往里面切,直到达到目的 ...
SEM/EDX(形貌观测、成分分析)扫描电镜(SEM)可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。EDX是借助于分析试样发出的元素特征X射线波长和强度实现的,根据不同元素特征X射线波长的不同来测定试样所含的元素。通过对比不同元素谱线的强度可以测定试样中元素的含量。通常EDX结合电子显微镜(SEM)使用,可以对样品进行微...
EDX可分析表面厚度1~5μm的元素成分,探测灵敏度大约为0.1%(原子摩尔分数,与元素种类有关)。 EDX可探测元素范围大(4Be~92U),对重元素的分析特别有效。 能谱EDX元素分析优缺点: 由于EDX通常与SEM或者TEM的一起使用,采用EDX进行元素分析的一大优势就是可视化操作,非常直观;EDX可以同时测量所有的元素,分析效率高。
EDX分析基于电子束轰击原子内层，激发出基态原子的内壳电子。外层电子填充空穴时释放出特性X射线，其能量分布反映特定元素和跃迁特征。硅漂移探测器收集X射线，并通过软件测量和解释，实现元素的定性和定量分析。EDX分析不仅用于识别元素类型，还能测量每种元素的浓度百分比，且几乎无需样品制备，无损检测。EDX...
EDS的缩写在早期可能有EDS、EDX、EDAX等不同表述，但2004年左右，相关协会规定EDS即能谱或能谱仪，而EDX则代表能谱学。EDS分析的最低含量可达到0.x%，对于定量分析，国家标准规定总量误差小于±3%，主元素的相对误差≤±5%，对于含量≤20%wt的元素允许误差≤10%，对于含量≤3%wt的元素允许误差≤30%...