X光能谱的分辨率,在EDS中约有100~200eV的分辨率,在WDS中则有5~10eV的分辨率。由于EDS的分辨率较WDS差,因此在能谱的解析上,较易产生重迭的情形。 46. 由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小...
2、WDS的X射线信号利用率很低,所以要在大束流下使用(i>10-9 A),使得空间分辨率低。 3、WDS的分析速度慢,每个分光晶体每次只能分析一个元素。完成全谱定性分析需要15分钟以上。 4、WDS探测限为0.01%-0.05%; EDS探测限为0.1%-0.5%。微区成分分析比EDS高一个量级。 采用电子探针显微分析仪(EPMA)获得的不同...
XFlash® FlatQUAD 的高灵敏度允许在SEM中实现超过10 nm的空间分辨率(见图2)。尽管 X 射线峰值重叠严重,但硅 (Si) 和钨 (W) 在结果图上可以很好地区分,这要归功于布鲁克 ESPRIT 软件中优秀的峰值解卷积的模型(参见图 1)。 Cont...
成像上: SEM的成像时电子束不穿透样品而是扫描样品表面,TEM成像时电子束穿透样品,SEM的空间分辨率一般在XY-3-6nm,TEM空间分辨率一般可以达到0.1-0.5nm。 5SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别? 答:XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um。 6 扫描电镜的能谱为何不能准确定量? 答:能谱(EDS)结合扫描电镜使用,...
3. EDS 检测器无法检测H、He或Li元素。4.与湿式化学分析方法相比，EDS可探测的元素极限较低；5.样品需要在真空条件下进行检测，不能检查活体样品；6.仪器通常需要25m2的房间来安装，占地相对较大；7.非导电样品需要涂层（可以不镀金在低加速电压成像，但如果需要EDS分析，还是建议镀导电涂层），针对不同的用途，...
6、TM不仅具有很高的空间分辨率(横向 可达0.1 nm,纵向优于0.01 nm),能直接观 察到物质表面的原子结构;而且还能对原子和分 子进行操纵,从而将人类的主观意愿施加于自然。 可以说STM是人类眼睛和双手的延伸,是人类智 慧的结晶。 p基于STM的基本原理,随后又发展起来一系列扫 描探针显微镜(SPM)。如:扫描力显微镜 ...
1.1 材料科学SEM-EDS在材料科学的研究中应用很广,它可以对材料同时进行微区形貌观察和成分分析。SEM-EDS一般只能提供空间分辨率为微米或亚微米的成分分布信息,但是通过调整SEM的加速电压和减薄样品等方法,成分分布的空间分辨率也可达到几十纳米的量级。 图2 NiFe/NiSx/Ni foam材料的成分面分布 1.2 航空维修 随着航空...
SEM的成像时电子束不穿透样品而是扫描样品表面,TEM成像时电子束穿透样品,SEM的空间分辨率一般在XY-3-6nm,TEM空间分辨率一般可以达到0.1-0.5nm。 5. SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别? XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um。 6. 扫描电镜的能谱为何不能准确定量?
可以分析来自样品的X射线,进行微区元素分析(需要EDS或WDS探测器),也可以研究半导体的光电特性(需要阴极荧光CL探测器),还可以观察晶体材料的晶粒取向或晶体取向图,同时研究平面样品中的异质性和微应变等相关信息(需要EBSD探测器)。 图4 SEM上可安装的各种附件...