在观察试样表面元素分布时,元素含量高的区域显示的亮点多、亮度高,但背底噪音也会产生少量亮点,无法和低含量元素区分。 🌈 EDS能谱仪的性能指标 EDS能谱仪的分辨率包括能量分辨率和空间分辨率。能量分辨率是能谱仪最重要的性能指标,以全峰半高宽(FWHM)计量。一般在探头装入电镜样品室之前进行测量。 🌈 能谱图的...
1、工作的电子束流可以较低,有利于提高空间分辨率,更好的电子图像质量(二次电子分辨率、锐度方面等更好); 2、SEM+EDS更快速的半定量解析; 3、EDS检测速度快,可在1~2分钟之内对Z大于等于11(或大于等于4) 的所有元素进行分析; 4、分析过程更简单一些。 场发射SEM检测 -博仕检测 EDS MAPPING检测 -博仕检测 EPM...
3. EDS 检测器无法检测H、He或Li元素。4.与湿式化学分析方法相比，EDS可探测的元素极限较低；5.样品需要在真空条件下进行检测，不能检查活体样品；6.仪器通常需要25m2的房间来安装，占地相对较大；7.非导电样品需要涂层（可以不镀金在低加速电压成像，但如果需要EDS分析，还是建议镀导电涂层），针对不同的用途，...
SEM-EDS一般只能提供空间分辨率为微米或亚微米的成分分布信息,但是通过调整SEM的加速电压和减薄样品等方法,成分分布的空间分辨率也可达到几十纳米的量级。 图2 NiFe/NiSx/Ni foam材料的成分面分布 1.2 航空维修 随着航空航天技术的发展以及精密机械学科的进步,航空维修也越来越趋向于精细化修理,对产品的故障分析也越来...
46. 由于电子束与样品作用的作用体积(interaction volume)的关系,特征X光的产生和作用体积的大小有关,因此在平面的样品中,EDS或WDS的空间分辨率,受限于作用体积的大小。 材料与器件检测技术中心SEM 后记:清华大学深圳国际研究生院材料与器件检测技术中心作为深圳市...
SEM-EDS在材料科学的研究中应用很广,它可以对材料同时进行微区形貌观察和成分分析。SEM-EDS一般只能提供空间分辨率为微米或亚微米的成分分布信息,但是通过调整SEM的加速电压和减薄样品等方法,成分分布的空间分辨率也可达到几十纳米的量级。 图2 NiFe/NiSx/Ni foam材料的成分面分布 ...
RT，薄膜材料，700nm厚，测截面的线扫描。想知道空间分辨率是多少，有效数据范围多大。不吝赐教，谢谢！
SEM的成像时电子束不穿透样品而是扫描样品表面,TEM成像时电子束穿透样品,SEM的空间分辨率一般在XY-3-6nm,TEM空间分辨率一般可以达到0.1-0.5nm。 5SEM-EDS与XPS测试时采样深度的差别? 答:XPS采样深度为2-10nm,EDS采样深度大约1um。 6扫描电镜的能谱为何不能准确定量?