EDS能谱分析是当X射线光子进入检测器后,在Si晶体内激发出一定数目的电子空穴对。产生一个空穴对的最低平均能量ε是一定的(在低温下平均为3.8ev),而由一个X射线光子造成的空穴对的数目为N=△E/ε,因此,入射X射线光子的能量越高,N就越大。利用加在晶体两端的偏压收集电子空穴对,经过前置放大器转换成电流脉冲,...
1. EDS应用范围 1)点分析:检测材料中微区的化学成份,是最常用的方式。测试效果如图15、16所示。 图15 点分析图例-1(部分) EDS图像上的参数如何看?以图15为例,左边图为SEM测试微区范围,“EDS1”区域名称对应右边谱图中右上角的图例,表示该谱图为“EDS1”区域的谱图结果。横坐标表示X射线光子计数/cps,纵...
EDS图像上的参数如何看?以图15为例,左边图为SEM测试微区范围,“EDS1”区域名称对应右边谱图中右上角的图例,表示该谱图为“EDS1”区域的谱图结果。横坐标表示X射线光子计数/cps,纵坐标表示X射线能量/keV。峰上标注为该峰对应的具体的元素符号Cu。(注1:EDS测试时,对于能量较低的、原子序数Z小于Na的轻...
SEM大多都装有EDS,而WDS一般作为以元素分析主要目的的电子探针显微分析仪(Electron Probe Microanalyzer:EPMA)的分光器而被使用。 表2 EDS和WDS的特征 定性分析根据X射线的谱图,能够进行确定电子束照射的区域中存在哪些元素的定性分析。分析模式有三种:获去电子束照射区域谱图的点分析,显示感兴趣元素在指定的线上如...
不过,到了2004年左右,相关协会规定,EDS就是能谱或者能谱仪,EDX就是能谱学,Dispersive就不去翻译。 这样EDS就应该是文章里的正规用法,而现在有很多文章仍然使用其他说法,有约定俗成的味道,大家知道怎么回事就行了。 Q2:TEM的能谱误差比SEM的小吗? A2:因为很多人知道TEM的分辨率高,所以认为TEM所配能谱的分辨率高...
EDS能谱(点扫、线扫、面扫),elements Mapping,EBSD 制样要求: 样品尺寸要求:块状样和生物样,直径小于26mm,高度小于15mm(样品中不得含有水分) 粉末样>0.02g 生物样品需要提前制好样,否则不予测试。 立即预约 分析原理:用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大...
利用扫描电镜(SEM)中的能谱仪(EDS),可以实现块状样品的显微成分定量分析。利用牛津仪器EDS的Tru-Q定量技术,可以确保在不同电压下实现准确的有标样及无标样定量分析。在透射电镜(TEM)中,分析对象为薄样品,通常利用Cliff-Lorimer因子(K因子)法进行元素定量分析。此外,Dijkstra et al. [1], Boon[2],Watanabe及Willi...
能谱EDS的采样深度大约为1 μm,可对试样微区内Be~U范围内的元素进行分析(SEM能谱一般只能测C(含C)以后的元素,其他元素也能做但是不准,不建议做)。根据扫描方式的不同可分为点扫、线扫和面扫。点扫和线扫都是对样品的某一位置进行微区元素分析,两者区别是扫描能谱的面积大小不一。点扫可以给出扫描元素的...
不过,到了2004年左右,相关协会规定,EDS就是能谱或者能谱仪,EDX就是能谱学,Dispersive就不去翻译。 这样EDS就应该是文章里的正规用法,而现在有很多文章仍然使用其他说法,有约定俗成的味道,大家知道怎么回事就行了。 Q2:TEM的能谱误差比SEM的小吗? A2:因为很多人知道TEM的分辨率高,所以认为TEM所配能谱的分辨率高...
采用ChemiSEM 技术的 SEM-EDS分析 Thermo Scientific ChemiSEM 技术使分析的易用性、便利性和速度向前跃进。它集成了较先进的元素分析与实时电子图像。在一个软件界面内,您可以: 从任何电子检测器上查看样品图像 查看样品表面上不同化学成分的区域 只需点击一下即可查看点和区域成分分析 绘制整个样品的成分变化图 绘制...