扫描电镜(SEM)是利用电子束扫描样品表面,产生二次电子等信号,通过检测这些信号来获取样品表面形貌、成分等信息。SEM的优点是分辨率高,可观察到纳米级别的细节,景深大,能清晰呈现三维形貌,可同时进行成分分析。1. SEM技术简介 从本质上讲,SEM "观察"样品表面的方式可以比作一个人独自在暗室中使用手电筒(窄...
扫描电镜(SEM)是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法,它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成,形态和结构。 入射电子作用于样品会激发多种信息,如二次电子,背散射电子,吸收电子,俄歇电子,阴极荧光,特征X射线(见图1)等等。 扫描电镜(SEM)主要是通过二次电子,背...
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扫描电镜(SEM)中的电子通道效应是一种与晶体取向密切相关的现象,通过背散射电子(BSE)可以获得样品的晶体学信息。自Coates首次报道以来,这一技术在材料科学领域得到广泛应用,特别是在晶格缺陷观察方面。电子通道衬度成像(ECCI)技术的发展使研究人员能够观察块体样品中的晶格缺陷。通过与透射电镜(TEM)对比研究,多个研究...
扫描电镜(Scanning Electron Microscope, SEM)是一种利用高能电子束扫描样品表面,并通过检测电子与样品相互作用产生的信号,获得样品表面微观结构的成像工具。其主要特点在于超高分辨率,通常在亚微米至纳米级范围内,可以清晰呈现细小结构,如细胞、纳米颗粒、金属晶粒等。
近年来,扫描电镜(SEM)领域的三维成像技术发展备受瞩目。实验室级别的宽离子束-扫描电镜(BIB-SEM)联用系统的问世,标志着这一领域的突破。该系统最显著的特点是能够在无需人工干预且样品不暴露于空气的条件下,实现自动化的连续成像和铣削过程。宽离子束(BIB)铣削技术较传统方法具有显著优势。首先,与聚焦离子束(FIB...
▶扫描电镜(SEM)+能谱仪(EDS)介绍:扫描电子电镜(SEM)是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段,可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,通过收集器和影像放大镜对这些信息进行收集、放大、再成像以...