影响SEM分辨率的因素有:A.电子束的束斑尺寸大小B.SC.信号滴状作用体积大小D.电子束的强度E.M分析的信息种类
SEM 的景深特别大 , 这主要是因为 :( ) 。A.电子束的平行度好B.电子束的束斑尺寸小C.两种因素都有D.两种因素都没有