一、概念 SECS/GEMI 标准(制造设备通信和控制的通用模型)指的是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议,由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议,如下: 1、SECS-II与SECS-I、HSMS的关系: 2、SECS/GEMHSMS协议报文分析
一、概念 SECS/GEMI 标准(制造设备通信和控制的通用模型)指的是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议,由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议,如下: 1、SECS-II与SECS-I、HSMS的关系: 2、SECS/GEMHSMS协议报文分析 注:req:请...
SECS协议标准基于IEEE 488.2标准(又称为GPIB标准),采用了主-从结构和基于消息的通信方式。设备之间通过发送和接收消息来进行数据交换。SECS协议标准主要包括两种消息类型:SECS-I消息和SECS-II消息。 1. SECS-I消息 SECS-I消息是基于二进制格式的简单消息,主要用于传输短小的控制命令和状态信息。SECS-I消息的长度限制...
SECS 协议: SEMI设备通信标准第2部分(SECS-II)定义了智能设备和主机之间交换的消息的解释细节。本规范是与日本电子工业发展协会设备通信委员会合作制定的。 本标准的目的是与SEMI E4设备通信标准(SECS-I)完全兼容。它的目的也是允许与可选的消息传输协议兼容。其中包含消息传输协议要求的详细信息。 本标准的目的是将...
1、SECS-II 概述 消息协议用于在主机和设备( Host and Equipment)之间发送 SECS-II 消息。每个SECS-II消息都包含一条主消息( primary message )和一个可选的次回复消息( optional secondary reply message)。这也被称为一个事务(transaction)。 Primary: 是由主机或设备发送的SECS-II消息。这里要注意,既可以是 ...
secs协议标准 SECS（SEMI Equipment Communications Standard）是一种用于半导体生产设备之间进行通信的协议标准。它定义了在设备之间传输数据和控制命令的格式、协议和规范。SECS协议的标准是为了确保不同供应商的设备可以无缝地进行沟通和交互操作，从而提高半导体制造过程的效率和可靠性。SECS协议中涉及到的一些基本概念和...
SECS-I协议SECS-l标准定义了一个通信接口，用于在半导体处理设备和主机之间交换信息。半导体加工设备包括用于晶圆 制造、后加工、过程测量、组装和包装的设备。上位系统与设备通过计算机网络交换信息以完成生产的。该标 准包括对物理连接器、信号水平、数据速率和逻辑协议的描述，这些协议是上位系统和设备通过串口（如RS232...
四张ID表才是重点,它才是与HOST交换信息的依据。我发布SECS SDK的目的也就是把程序员解放出来,不需要关心太多的收/发指令,不要被近五百页的SECS协议文档苦惨了,在不需要看协议文档的情况下完成SECS协议的支持;重点还在你的设备的业务逻辑的编写,顺带着更新一下ID实时值即可。
SECS/GEM是一套国际通用的干流标准通讯协议,常用于高阶半导体设备,如晶圆厂等等,是工业4.0、才智制作的必备元素之一。该协议旨在实现设备与设备之间、设备与主机之间的高效双向通讯,以进步生产功率和设备操控的准确性。此外,SECS协议还支持多种通讯接口,包含串行通讯和网络通讯,以适应不同设备的需求。 使用介绍 上述表格...
在半导体生产中，EAP系统通过SECS协议与机台进行数据传输和指令控制，实现对机台的监控和控制。EAP系统首先与机台建立通信连接，然后通过SECS协议传输数据和指令。EAP系统可以向机台发送控制命令，例如启动、停止、暂停、恢复等。同时，EAP系统可以获取机台的状态信息和生产数据，并对数据进行处理和分析，以实现对机台的...