ICP Etching Process for Realizing SiC Trench MOSFETs Technical reportsJanuary 29, 2025 Introduction One example of a 4H-SiC power device is the MOSFET (Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor). While planar MOSFETs… National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST): Ta...
Samco是日本半导体工艺设备制造商中获得博世工艺许可的公司。使用我们最新的Tornado ICP®专利技术和利用博世工艺,Samco的Si DRIE系统已被证明在研发和生产中的深层、垂直、高速Si深层蚀刻方面非常有效。 Samco Si DRIE系统的优势。 蚀刻速率超过50微米/分钟。 高选择性超过250:1(Si:光刻胶)。 均匀度为±5%或更高...
Samco’s plasma etching systems provide a comprehensive lineup from table-top RIE systems for single dies to large-chamber systems for up to 300 mm wafers. With open-load RIE options for low ownership costs and ICP systems for low-bias power processing, we cater to diverse customer needs. ...
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samco ICP 蚀刻设备 RIE-400iP 价格 ¥ 10000.00 起订数 1台起批 发货地 江苏苏州 商品类型 机械设备 、 电子产品制造设备 、 其他电子产品制造设备 商品关键词 samco、 蚀刻机、 RIE、 400iP 商品图片 商品参数 品牌: samco 加工定制: 否 新旧程度: 全新 价格说明 价格:商品在平台的展示标价,...
samco-ucp ltd. is a process equipment company that develops and manufactures a wide variety of unique deposition, etching, and surface treatment systems for a worldwide network of major industrial customers and academic facilities. We provide process exp
samco ICP 蚀刻设备 RIE-800iP 品牌samco 塔玛萨崎电子(苏州)有限公司 3年 查看详情 ￥599.00/件 上海 SAMCO压滤机 机械压紧 角进料 上海蕴匠贸易有限公司 5年 查看详情 ￥3.00万/台 广东深圳 samco 等离子CVD设备 PD-220NL 用于SiH4-SiO2 和正硅酸乙酯-二氧化硅 在线交易 品牌samco 小川工业设备深圳...
“日本Samco干法刻蚀机,等离子刻蚀,RIE ,ICP Dry Etching”详细介绍 等离子刻蚀系统 用于高精度加工各种半 导体和绝缘膜的刻蚀装置。利用独自 的电子线圈,生成高密度均一的等离 子。可根据加工材料和目的不同,选 择相应的等离子。 设备特点: 通过Tornado ICP,可产生稳定高密度的等离子,进行高选择比高精度刻蚀。
842312051741矩管元素灯美国赛默飞红外ICP原吸ICPMS原装配件耗材 ￥6666.00 本店由企顶顶(上海)运营支持 获取底价 上海额赫贸易有限公司 商品描述 价格说明 联系我们 获取底价 商品描述 价格说明 联系我们 品牌 赛默飞 重量 22 精度 赛默飞 尺寸 44 品种 M995133 电源 管盖 种类 Samco 装箱数 管...
等离子体增强型 ALD 系统“AD-800LP”是一种多功能研发系统,除了传统的热 ALD 功能外,还配备了称为“Tornado ICP”的独特 ICP 等离子体源。AD-800LP 可通过 Tornado ICP 实现各种薄膜沉积,例如氧化膜或氮化物膜,这是 Samco 专有的等离子体技术,与远程等离子体不同。即使在 ALD 沉积过程中的高压范围内,Tornado...