摘要: 本发明提供了一种具有双层氧扩散阻挡层的电容器,该电容器含有电极,在电极上含铝层的双层氧扩散阻挡层,在氧扩散阻挡层上的介电层,和介电层上的顶部电极. 主权项: 1.一种电容器,它含有: 电极, 在电极上的含铝的氧扩散阻挡层, 在氧扩散阻挡层上的介电层,和 介电层上的顶部电极。收藏...
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