内容提示: V01.21 No.1 Mar.20o3 , 线 JICHENGDIANLU TONGXUN 笼 21 0第 1期 2003年 3月 $1818光刻胶工艺实验研究 陈永 祚 史孔 玉谷健 (中国兵器工业第 214研究所 蚌埠 233042) 摘要 详细介绍 了对 S1818光刻胶进 行实验 的数据及分析过程,总结 出适合我所 光刻 系统的 S1818光刻胶工艺参数。
S1818光刻胶工艺实验研究 S1818光刻胶工艺胶厚曝光指数滴胶工艺工艺参数详细介绍了对S1818光刻胶进行实验的数据及分析过程,总结出适合我所光刻系统的S1818光刻胶工艺参数.陈永祚兵器工业第二一四研究所(蚌埠)史孔玉中国兵器工业第214研究所VIP集成电路通讯...
用于制造如图1所示类型振动结构陀螺的本发明方法包括以下步骤:在平板状玻璃或硅基片7的表面之一沉积第一层光刻胶9,如附图2所示。所用光刻胶最好为工业标准的“正性光刻胶”,例如ShipleyS1818SP16。第一层光刻胶9最好是通过旋转涂布沉积在基片7上... 克里斯托弗・P・费尔,凯文・汤森,伊恩・斯特兰 - ...