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振镜尺寸φ1.23 mm 振镜材料Aluminium 光学偏转角Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 ° 驱动频率(最大值)Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz 外形尺寸图(单位:mm) 主要用途 技术资料 产品资料 实验结果 MEMS 振镜 S13989-01H产品样册...