摘要: 硒化氢是一种制备红外光感材料硒化锌的重要原料,也是用于集成电路的外延,掺杂和蚀刻等工艺的重要电子特气.本文对硒化氢的制备和提纯技术进行了综述.关键词:硒化氢 制备 提纯 DOI: 10.3969/j.issn.1671-9905.2021.03.010 年份: 2021 收藏 引用 批量引用 报错 分享 ...