开关线型MEMS移相器是通过MEMS开关分别选择不同路径来实现不同相移量 国内南京电子器件研究所于2003年报道了一种X波段MEMS开关线型移 相器f57l,如图3.17所示,由相移位22.5°位、45°位、90’位、180°位串接而成,采用16个RF-MEMS开关来实现不同相移量的变化. 研巧者提出了一种Ku波段微机电系统(MEMS)基于直流接...
《RFMEMS理论设计技术》是由东南大学出版社于2005年12月1日出版发行的书籍，该书取材广泛、内容深刻，是本领域的权威著作。适合微电子技术、微波技术、微机电系统技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读。 本书共分15章：内容主要包括：RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；MEMS开关的制备、封闭、可靠性...
为给RF MEMS 可活动部分提供足够的可动空间，需要在外壳上刻蚀或留有一定的槽形及其它形状的空间，灌封好的RF MEMS 需要表面上的净空，封装时能提供一个十分有效的保护空腔。d）防护性 RF MEMS 芯片在完成封装之前，始终对环境的影响极其敏感。RF MEMS 封装的各操作工序：划片、烧结、互连和密封等需要采用特殊的处...
低压驱动RF MEMS开关设计与模拟 近年来射频微电子系统(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注,特别是MEMS开关构建的移相器与天线,是实现上万单元相控阵雷达的关键技术,在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低损耗、高隔离度、成本低等优势在手机上得到应用。然而RF MEMS开关普遍存在驱动电压高、开关时间...
射频微机电系统(RF-MEMS)是一种新兴的技术,它能够为设计者提供制造可调天线所需的主要组件。使用基于RF-MEMS的 … www.eeworld.com.cn|基于31个网页 2. 射频微电子机械系统 【摘要】:射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在射频(RF)通信领域的应用正在得到广泛的重视。作为射频电路的重要元件, … ...
图1所示的电路使用RF MEMS开关在两台表贴RF衰减器和两条直通路径之间路由RF信号。在电路图中，两个ADGM1304单刀四掷(SP4T) RF MEMS开关按背靠背方式配置，在输入和输出端之间产生了四条独立可切换路径。前两条路径是直通传输线，第三条包含一个6 dB衰减器，第四条包含一个9 dB衰减器。实现此应用的关键在于：...
最近几年利用微机电系统(MEMS;Micro Electro Mechanical System)技术,在硅晶圆基板表面制作机电结构的技术备受关注,主要原因移动电话与WLAN(Wireless Local Wireless Network)等无线通信,随着宽频化、高频化、全球化的技术进化,高频用射频元件(Radio Frequency devices)成为不可或缺的关键性元件,尤其移动电话的RF单元必需使...
照片:门洛微型六包:黑色方形包包含六个 RF MEMS 开关, 由门洛微.每个端口控制八角形边缘周围一对 RF 端口之间的连接。 二十年前,专门从事射频电路的工程师们敢于梦想"理想的开关"。当"开"时,它会有超低的阻力,当"关"时,它会有超低的阻力,等等。它将很小,速度快,易于制造,能够切换相当高的电流,能够承受数...
RF MEMS技术是利用MEMS技术制造的RF产品，旨在实现RF产品与MMIC的高度集成，以制作集信息采集、处理、传输和执行于一体的系统集成芯片（SOC）。基于微电子技术的理念，RF MEMS技术不仅能够进行圆片级生产，实现产品批量化，还具有成本低、体积小、重量轻、可靠性高等优点。RF MEMS器件主要分为两大类：无源...