RCA清洗工艺包括SC-1和SC-2两种清洗液。SC-1由NH₄OH、H₂O₂、H₂O按1:1:5至1:2:7配比,属碱性,用于去除颗粒及有机物;SC-2由HCl、H₂O₂、H₂O按1:1:6至1:2:8配比,用于去除金属。改进后可于45℃低温进行。 问题提供了完整的RCA清洗工艺描述,涵盖SC-1和SC-2的成分、
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RCA标准清洗法是最普遍采用的一种湿法清洗法,该法主要包括SC-1、SC-2、SC-3和DHF四种清洗液。()此题为判断题(对,错)。请帮忙给出正确答案和分析,谢谢!
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