基于扫描电镜的电子束曝光系统RaithGmbHElphyplus 主要内容 ••••••扫描电子显微镜介绍Raith电子束曝光系统电子束曝光图形制作曝光参数对准操作纳米器件制作的主要步骤 XL30SFEG(atopperformingfieldemissionSEM)Accelerationvoltage:200V30kVResolution:1.5nmat>10kV,2.5nmat1kVElectronspot~1nm,...
Nanopatterning made simple: ELPHY stands for the easiest and most economical access to professional nanolithography and nanofabrication. It provides all you need to efficiently start to enter the nanolithography world. The upgrade kits, also known as “lithography attachments”, enable virtually any SEM...
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(如PMMA) 曝光图形设计 电子束曝光、显影 蒸镀金属膜 剥离 测量 基片准备和样品分散 定位和曝光图形设计 镀膜和剥离 基于扫描电镜的电子束曝光系统Raith GmbH Elphy plus 主要内容 扫描电子显微镜介绍 Raith电子束曝光系统 电子束曝光图形制作 曝光参数 对准操作 纳米器件制作的主要步骤 XL 30 S FEG (a top ...
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Elphy plus主控制界面 . 曝光图形的制作曝光之前,必须先知道曝什么!图形格式:.CSF或者.GDS 常用软件:elphy plus -GDSII database L-edit AutoCAD 等等 . 增加图层 . 选定图层 . 选定图层 . 显示绘图格点 . 改变绘 距图 格点间 . 选用画笔 . . . . 曝光图形设计注意事项 ? 最小尺寸:线宽、间距(考虑临近...
RaithGmbHElphyplus 主要内容 •扫描电子显微镜介绍 •Raith电子束曝光系统 •电子束曝光图形制作 •曝光参数 •对准操作 •纳米器件制作的主要步骤 XL30SFEG (atopperformingfieldemissionSEM) Accelerationvoltage:200V30kV Resolution:1.5nmat>10kV,2.5nmat1kV ...
基于扫描电镜的电子束曝光系统RaithGmbHElphyplus .1 主要内容 •扫描电子显微镜介绍•Raith电子束曝光系统•电子束曝光图形制作•曝光参数•对准操作•纳米器件制作的主要步骤 .2 XL30SFEG(atopperformingfieldemissionSEM)Accelerationvoltage:200V30kVResolution:1.5nmat>10kV,2.5nmat1kVElectronspot~1nm,...