Qtime管控(Queue Time Control)是半导体制造过程中一个重要的和效率管理环节,尤其在刻蚀工艺(ETCH)中显得尤为重要。 一、Qtime的定义和重要性 Qtime(Queue Time)即“排队时间”,是指在生产流程中,某一工序或设备在接收到任务后,等待处理的时间。具体来说,Qtime是指晶圆在一个工序的前一工序完成到该工序开始的时...
Qtime管控(Queue Time Control)是半导体制造过程中一个重要的和效率管理环节,尤其在刻蚀工艺(ETCH)中显得尤为重要。 一、Qtime的定义和重要性 Qtime(Queue Time)即“排队时间”,是指在生产流程中,某一工序或设备在接收到任务后,等待处理的时间。具体来说,Qtime是指晶圆在一个工序的前一工序完成到该工序开始的时...
在半导体制造的 55nm 制程工艺(55flow)中,许多步骤后都需要设置 Qtime(Queue Time,排队时间),目的是保证工艺稳定性、提升产品良率以及优化生产调度。以下是一些常见需要设置 Qtime 的步骤: 光刻相关步骤 光刻胶涂覆后:光刻胶涂覆在晶圆表面形成均匀的薄膜后,需要在一定时间内进行曝光工艺。如果排队时间过长,光刻...
工业生产:在某些工业生产环境中,“QTime”可能指代特定条件下的处理时间,即某个工序或流程所需的时间长度。 半导体制造:在半导体制造领域,“qtime”可能表示排队时间,即某个工序或设备前的等待时间。 综上所述,“QTime”的含义因领域而异,没有统一的定义。在理解和使用“QTime”时,...
追踪的等待时间。qtime的意思是一步一步到下一步跟踪的等待时间，它有最大时间或最小时间，半导管qtime的意思是半导管追踪的等待时间。
- 1 - 中国科技论文在线 半导体制造栅氧工艺的 Q-Time研究及改善 方案 倪立华1,2,程秀兰1* 作者简介:倪立华(1968-),男,中级职称,主要研究方向:集成电路制造. E-mail: nilihua@ (1. 上海交通大学微电子学院,上海 200240; 5 2. 上海华力微电子有限公司,上海 201203) 摘要:随着集成电路器件性能的不断提高和...
Qtime管控(Queue Time Control)是半导体制造过程中一个重要的和效率管理环节,尤其在刻蚀工艺(ETCH)中显得尤为重要。 一、Qtime的定义和重要性 Qtime(Queue Time)即“排队时间”,是指在生产流程中,某一工序或设备在接收到任务后,等待处理的时间。具体来说,Qtime是指晶圆在一个工序的前一工序完成到该工序开始的时...
单一的只管控Normal Flow上的Qtime Loop已表现出诸多局限 性,如晶圆超Qtime的风险上升,监控人力的增加,生产成本的提高,已明显不适用于先进的 半导体制造。 发明内容 [0004] 鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种动态工艺流程的 Qtime WIP管控方法,用于解决现有技术在晶圆制造的过程中,不能有效管控...
一种动态工艺流程的Qtime WIP管控方法[发明专利](19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 202011327295.5 (22)申请日 2020.11.24 (71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司 地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298 号1幢1060室 (72)发明人 张赛楠 崔...
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