随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能必须提高,我司在运动控制上有着丰富的定位经验, 推出了一款平面式 H 形双轴超精密气浮运动台。QFHDS 采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了最高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高...
随着半导体行业的不断发展,相应的加工检测设备的性能必须提高,我司在运动控制上有着丰富的定位经验, 推出了一款平面式 H 形双轴超精密气浮运动台。QFHDS 采用有限元分析优化的碳化硅陶瓷结构和气浮轴承补偿设计技术,提高精度的同时,也提供了最高动态性能。广泛应用于半导体加工、检测,微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高...