摘要摘要制造技术是MEMs微电子机械系统产业化进程的核心技术之一.Pyrex7740玻璃在MEMs领域是一种常用材料。由于Pyrex7740玻璃在500℃以下,有着与硅材料几乎相同的热膨胀系数,因此其被广泛应用于硅基MEMs器件的气密和真空封装中;由于Py陀x7740玻璃有着优异的光学特性,因