本发明公开了一种SF6火花放电分解杂质分析方法及装置,其中方法包括:通过预先确定的拟合模型对SF6分解组分产量与杂质含量之间的关联模型进行拟合,获取拟合参数,其中,所述关联模型基于预先确定的SF6火花放电分解产物和反应物之间的关联关系确定;根据所述拟合参数对所述关联模型进行校正,以获得校正模型;基于所述校正模型确定SF6火花放电分解