反应生成薄膜:引入前驱体B,与吸附的前驱体A发生化学反应,生成一个原子层的薄膜。 重复循环:通过交替引入前驱体A和B,逐层沉积薄膜,直到达到所需厚度。 这种方法确保了高精度的厚度控制和均匀的薄膜沉积,具有极高的可重复性。 ALD技术的优势 高精度的膜厚控制:ALD可以实现原子级别的厚度控制,每个反应周期沉积一个原...