PSG玻璃旋涂的工艺流程包括准备基材、涂覆液态材料、热处理和后处理四个步骤。具体流程如下: 1. 准备基材:清洗和干燥玻璃基材,以确保表面干净、无杂质。 2. 涂覆液态材料:将PSG溶液滴在基材上,然后使用旋涂机使基材高速旋转,使液态材料均匀分布。 3....
BSG和PSG在半导体器件的制造过程中都扮演着重要的角色,它们的主要应用包括: 1. 绝缘层 BSG和PSG都可以作为绝缘层使用,用于隔离不同电路之间的电荷和信号,防止短路和干扰。 2. 氧化层 BSG和PSG也可以作为氧化层使用,用于保护器件免受环境因素的影响,如氧化、...
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