以Lam Research開創性的單晶圓旋轉(single-wafer spin)技術為基礎,DV-Prime®和DaVinci®產品提供了高生產力所需的製程靈活性,可在整個製造流程中實現各種晶圓清洗步驟。針對某些應用,透過我們的Reliant®系統還可選擇一些機型作為整修產品,能以較低的擁有成本提供與新系統相同的品質保證與效能。
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