x100—150mm品已量生产。 成功 或(111),籽晶转速30—60r/min,坩埚转速8—107 运行费用 大 *200mm成功 反应管 生产效率 高 小 拉速1.5—3cm/h。目前用这种方法可拉制出面MIHF d150mm,重达十几千克的GaAs单品,无位错的GuL 较高 小低 B.O. 晶直径可达ф100mm。 6-3 砷化镓单晶中杂质的控制 3.垂直...