1 ppb = 1 µg/kg 1ppb=1ug/L 1 ppt = 1 ng/kg 1 ppt =1ng/L 1ppm=1000ppb=1000000ppt 极微量杂质对芯片制造的影响 比如说，在硅晶体中，即使是ppb级别的微量杂质也可能显著改变硅的电性能。这是因为这些杂质原子可能会成为电荷载流子，改变硅的导电性。因此，在半导体制造过程中，必须要严格...