半导体生产制程 硅晶片制造工艺大致分为晶体生长工艺和晶片加工工艺。 多晶硅(矿块) 1 单晶拉制(CZ法) 在CZ法中,将黑色加热器石墨坩埚,石英坩埚和多晶硅置于拉制装置中,在惰性气氛中在减压下加热和熔融,并附着晶种并逐渐提拉以生长单晶。 2 形成单晶硅棒...